辉光离子氮化是近年来发展较快的热处理技术。辉光离子氮化设备的炉膛是一真空容器,在一定的真空度(L33×10-2Pa)和高压直流电场(100~1000V)作用下,通入少量氮化气氛,使氮原子离子化,并在电场作用下,高速冲击工件表面,产生辉光放电,使工件表面达到离子氮化温度并使氮原子渗入工件表面。离子氮化工艺与原气体氮化相比,具有生产效率高、变形小、成本低和污染少等优点。
在设备设计和制造时,应注意设备阳极和阴极间的高压绝缘问题。因为设备外壳即是高压直流电的阳极,必须良好接地。设备中放置工件的阴极接线柱,对地绝缘电阻必须用1000V绝缘摇表检查,其绝缘电阻不得小于20MΩ。在电气线路里,必须有保护装置,确保真空罩打开时,高压直流电自动断开。辉光离子氮化设备的厂房,应光线明亮、通风良好、屋内应保持清洁整齐、干燥、无杂物。操作时必须注意:
1. 离子氮化设备必须有两名以上操作者方可开炉,并指定操作负责人。操作者必须熟悉和遵守离子氮化设备的安全操作规程。
2. 工件必须洗涤干净,去除毛刺、铁屑和油污。
3. 不得在设有可靠安全措施情况下,在真空罩下进行操作。吊放真空罩应平稳,在阴极底板上放置工件应稳妥。
4. 应遵守气体氮化和氨气瓶安全使用规程。真空泵抽气时,排出的废气应通往室外。
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