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氟化物气体应用:二氟硅烷

1.别名·英文名

二氟二氢硅;Difluorosilane

2.用途

含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。

3.理化性质

分子量: 68.10

熔点: -122.0

沸点(101.325kPa) -77.8

气体密度: 2.35kg/m3

熔化热: 6.148kJ/kg

气化热: 292.092kJ/kg

临界温度: 34

蒸气压(-124.3) 2.666kPa

(-98.3) 26.664 kPa

(-87.8) 53.329kPa

比热容(气体,25) 749.443J/(kg·K)

二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解,但比SiHF3分解速度慢。

2SiH2F2SiH4+SiF4

在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。

与乙醇、氨和胺反应。

参见六氟化二硅。

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