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金属有机化合物气体应用:六氟化硫

1.别名·英文名

Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride.

2.用途

电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医疗,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。

3.制法

在高温下硫和氟反应制得。

S+3F2→SF6

4.理化特性

分子量: 146.054

熔点(224kPa): -50.8℃

升化点(101.325kPa): -63.7℃

液体密度(-50.8℃): 1880kg/m3

气体密度(0℃,101.325kPa): 6.52kg/m3

相对密度(气体,空气=1,20℃,101.325kPa):5.114

比容(21.1℃,101.325kPa):0.1516m3/kg

临界温度: 45.5℃

临界压力: 3759kPa

临界密度: 736kg/m3

压缩系数:


熔化热(222.35K,224kPa): 34.38kJ/kg

气化热(-63.8℃,101.325kPa): 161.61kJ/kg

比热容(气体,25℃,101.325kPa):CP=665.18J/(kg·

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