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1.别名·英文名
氟化硫；Sulfur tetrafluoride、Sulfur fluoride．
2.用途
电子气、化学气相淀积、氟化剂、表面处理剂、等离子干刻。
3.制法
2F2+S→SF4
4.理化性质
分子量： 108.058
熔点： -121.5℃
沸点(101.325kPa)： -40.4℃
液体密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m3
(-80℃，S.P.)： 1940.6kg/m3
气体密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m3
相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：3.783
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m3/kg
临界温度： 90.9℃
临界压力： 6342.9kPa
气化热(-40.4℃，101.325kPa)： 200.72 kJ/kg
比热容(气体，25℃)： Cp=707.57 J/(kg·k)
蒸气压(-100℃)： 0.9kPa
(-60℃)： 32kPa
(21.1℃)： 1067
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