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金属有机化合物气体应用:三氟化磷

1.别名·英文名

氟化亚磷;Phosphorus trifluoride、Phosphorus fluoride。

2.用途

发生气体、氟化剂、外延、离子注入。

3.制法

(1)三氟化砷和三氯化磷作用。

(2)3F2(适量)+2P→2PF3

4.理化性质

分子量:87.969

熔点(101.325kPa): -151.3℃

沸点(101.325kPa): -101.2℃

液体密度(171.95K,S.P.): 1574kg/m3
(0℃): 1130kg/m3

气体密度(25℃,101.325kPa): 3.590kg/m℃

相对密度(气体.空气=1,25℃,101.325kPa):3.03

比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg

临界温度: -2.0℃

临界压力:4326kPa

临界密度: 592kg/m3

气化热(171.95K): 165.94kJ/kg

比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=667.16J/(kg·K)

蒸气压(122.15K): 1.333kPa

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