1.别名·英文名
氟化亚磷;Phosphorus trifluoride、Phosphorus fluoride。
2.用途
发生气体、氟化剂、外延、离子注入。
3.制法
(1)三氟化砷和三氯化磷作用。
(2)3F2(适量)+2P→2PF3
4.理化性质
分子量:87.969
熔点(101.325kPa): -151.3℃
沸点(101.325kPa): -101.2℃
液体密度(171.95K,S.P.): 1574kg/m3
(0℃): 1130kg/m3
气体密度(25℃,101.325kPa): 3.590kg/m℃
相对密度(气体.空气=1,25℃,101.325kPa):3.03
比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
临界温度: -2.0℃
临界压力:4326kPa
临界密度: 592kg/m3
气化热(171.95K): 165.94kJ/kg
比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=667.16J/(kg·K)
蒸气压(122.15K): 1.333kPa
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