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金属有机化合物气体应用:三氟化氮NF3

1.别名·英文名

氟化氮;Nitrogen trifluoride.

2.用途

火箭推进剂、氟化剂、电子气、等离子干刻、掺杂、激光、光导 纤维。

3.制法

电解NH4HF2熔体。

4.理化性质

分子量: 71.002

熔点(101.325kPa): -206.79℃

沸点(101.325kPa): -129.0℃

液体密度(-129℃,101.325kPa): 1540kg/m3

气体密度(20℃,101.325kPa): 2.96kg/m3

相对密度(气体,空气=1,20℃,101.325kPa):2.46

比容(21.1℃,101.325kPa):0.3371m3/kg

气液容积比(15℃,100kPa): 520L/L

临界温度: -39.3℃

临界压力:4530kPa

临界密度: 522 kg/m3

临界压缩系数:0.317

熔化热(-206.79℃,101.325kPa): 5.61kJ/kg

气化热(-129℃,101.325kPa): 163.29kJ/kg

比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=751.68J/(kg·K)

蒸气压(-171℃): 1.333kPa

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