金属有机化合物气体应用：四氟硅烷SiF4

1.别名·英文名

氟化硅，四氟化硅；Silicon Tetrafluoride、TetrafIuorosiIane、Silicon fluoride．

2.用途

有机硅化合物的合成材料，水泥和人造大理石的硬化剂，氟硅酸及氟化硅的制造，硅的外延生长，等离子蚀刻，太阳能电池，复印机感光筒，非晶硅膜生成，化学气相淀积。

3.制法

(1)加工含有氟化物的天然磷酸盐(在浓硫酸对CaF2和氟磷灰石作用时)的副产品。

(2)在赤热温度下分解氟硅酸钡。

(3)用HF作用于SiO2.

(4)在常温下F对Si的作用。

(5)将硅砂与氟石混合，加入过量的浓硫酸中，并加热。

(6)氟置换四氯化硅，SiCl4+2F2→SiF4+2Cl。

4.理化性质

分子量： 104.08

熔点： -95.7℃

沸点(241kPa)： -90.2℃

升化点： -94.8

液体密度(-80℃)j 1590kg/m3

气体密度(20℃，101.325kPa)： 4.370kg/m3

相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：3.63

比容(21.1℃;101.325kPa)：0.231m3/kg

临界温度： -14.2℃

临界压力： 3715kPa

熔化热(177.45K)： 91.37kJ/kg

气化热(182.9K，1

责任编辑：老芋头（易安网版权所有，未经授权禁止使用，不能转载！）

分享按钮

易安网通行证登录