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本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。
本标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率，测量范围有明确规定。
pdf格式，共7页。2009年10月30日发布，2010年6月1日实施。
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