多晶硅制作工安全操作规程

1．开护前应将各管道清洗干净并烘干，然后将各管道按生产流程要求连接好，要确保密封，所有反应釜和流程各段应进行检漏(抽真空在24小时之内无明显的压力降)。

    2．生产过程运行时，不能停水，停电。

    3．生产上所用的电气设备，非生产人员切勿乱动。

    4．生产中各管道所连接的开关、铁夹子，不得随意松动。非工作人员不得随便进入生产区。操作者不得随意离开工作岗位。每隔半小时详细记录压力、温度的情况。

    5．生产进行之中，冷井的抽空阀一定要打开，绝不能关死。贮氨筒间的冷凝器加氨气阀要打开，停炉时要关死。

    6．材料要求：

    (1)氧化铵烘干后要经40目分样筛后，装入干燥而密封的容器内；

    (2)硅镁的合成要在真空度达9．999×10000帕(750毫米汞柱)以上，温度550℃时进行，并恒温3小时，严禁漏气，然后再在常温下降温，直到手触及外壳无灼痛的感觉，才能消除真空取下不锈钢盘进行过筛。得到的硅镁合成粉应贮存在干燥密封的容器内，严禁与水、酸、火接触，以免燃烧和爆炸；

    (3)液氨的使用要特别注意氨瓶和接管道口的气密性，以免漏气。不要让氨气冲入眼、口、鼻和粘在皮肤上，否则应立即用水冲洗；

    (4)铣镁屑时，要按镁合金加工的要求进行，加工好的镁屑要保存好，严禁烟火和潮湿。

    7．各设备上所使用的检漏表、气压表、高伏计要定期检查和校正，以免表的失灵而发生事故。

    8．配制清洁液时应注意：水不得往硫酸中注入，一定要将硫酸慢慢加入水中卜配制王水时应将硝酸慢慢加入盐酸中，配制酸液或清洗过程中，应戴上耐酸橡胶手套及口罩和围上耐酸围裙，在通风设备下进行配酸，不要粘入身上，处理废酸废碱时要进行中和后，达到安全排放标准，才可倒入下水道。

    9．清洗汞时要戴上口罩和围上围裙。要小心操作，打开通风柜。不要将汞打翻在地，如有撒在外边，可用硫磺粉及时撒上立即处理。

    10．生产当中严禁吸烟。